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제품모델 : Ch#B Wafer Sensor Kit for Endura
PART NO:
적용장비 : AMAT E5500
원 인 : Wafer Slippage 및 Popping에 의한 Ch.B내에서의 .... |
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적용모델 : AMAT CHILLER
PART NO:
적용장비 : AMAT CHILLER
원 인 : Parallel connection(DI/O,AI/O) type signal방식
적 용 : Serie.... |
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적용모델 : 3WAY MONITOR SELECTOR
PART NO: 0100-35083
적용장비 : AMAT P5000,E5500,CE5200,CE5300,PRODUSUR
원 인 : CONTROLLER 개발
.... |
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적용모델 : 3WAY MONITOR SELECTOR
PART NO:
적용장비 : AMAT P5000,E5500,CE5200,CE5300,PRODUSUR
원 인 : CONTROLLER 개발
적 용.... |
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적용모델 : ROBOT CALIBRATION CONTROL BOX
PART NO:
적용장비 : AMAT P5000
원 인 : CONTROLLER 국산화
적 용 : |
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제품모델 : AMAT Lift Motion Controller
PART NO:
적용장비 :
원 인 : AMAT장비에서는 Lift Actuators를 사용하고 있으나 Actuators의 열.... |
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제품모델 : MONITOR 3WAY CONTROL BOARD
PART NO: ChS070701-B001
적용장비 : AMAT
원 인 : MONITOR SELECTOR 개발
적 용 : |
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제품모델 : LOADLOCK SLIT SENSOR KIT
PART NO:
적용장비 : AMAT
원 인 : LOADLOCK CASSETTE에서 BUFFER CHAMBER로 LOADING/UNLOADING中 WAF.... |
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적용모델 : LOAD LOCK SENSOR
PART NO:
적용장비 : AME E5500,CE5200,CE5300
원 인 : CASSETTE 유무감지불량.
적 용 : |
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제품모델 :AME LCD TOUCH MONITOR
PART NO:
적용장비 : AMAT P-5000,CN5200,CE5300,E5500,PRODOSUER
원 인 : FAB에 장비 공간 SPACE의 밀착.... |
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