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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : ASSY,SNSR,EMT,EX-13EB,1280MM
PART NO: P1302686
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : RTP WAFER LASER SENSOR KIT
PART NO: P1328320
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : ARM CHUCK SENSOR_____
PART NO: S24A0107
Àû¿ëÀåºñ : VARIAN
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : wafer mapping sensor EX43
PART NO: P1148559
Àû¿ëÀåºñ : VARIAN
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : E/S ASSY__EFEM_FAN PRESSURE GAUGE
PART NO: P1276118
Àû¿ëÀåºñ : VARIAN
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : HELIOS__MODIFY ARM_SOL BLOCK
PART NO: P1297864
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : HELIOS__MODIFY ARM_SOL BLOCK
PART NO: P1297864
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : HELIOS__MODIFY ARM_WAFER GUIDE ARM
PART NO: P1297863
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : MINI GUIDES CYLINDER
PART NO: P1283334
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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[DIFFUSION] ION IMPLANT |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : MINIATURE LM GUIDE (MODIFY)
PART NO: P1272058
Àû¿ëÀåºñ : MATTSON
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ.
¼³Ä¡»ç·Ê : Hynix |
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