제품모델 : AMAT Lift Motion Controller
PART NO:
적용장비 :
원      인 : AMAT장비에서는 Lift Actuators를 사용하고 있으나 Actuators의 열경화 또는 오링의
              마모로 동작중에 Up lift 동작시 급격히 동작하는 문제로 wafer의 sliding이 발생하는
              문제점이 발생합니다.
적    용 : 이를 개선하기위해 Actuators대신 Motion controller를 사용하여 일정한 동작을 유지
              할수 있도록 개선하였습니다.또한 MPH 향상을 올릴수 있습니다.