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[THINFILM] AME |
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Àû¿ë¸ðµ¨ : ROBOT CALIBRATION CONTROL BOX
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AMAT P5000
¿ø ÀÎ : CONTROLLER ±¹»êÈ
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : AC POWER BOX
PART NO: 0150-00551
Àû¿ëÀåºñ : AMAT
¿ø ÀÎ : ±¹»êÈ
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : Pontune Right & Left
PART NO: 0140-35790,0140-35791
Àû¿ëÀåºñ : AMAT
¿ø ÀÎ : Ass¡¯y ±¹»êÈ.
Àû ¿ë :
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : CRYO HEATING JACKET CONTROLLER
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AME E5500
¿ø ÀÎ : CRYO PUMP REGEN TIME °¨Ãà
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AMAT PART - CABLE LIST
(¸¶¿ì½º¸¦ »çÁøÀ§¿¡ ¿Ã·Á³õ°í Ŭ¸¯ÇÏ½Ã¸é »çÁøÀ» Å©°Ô º¸½Ç ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù) |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : Ch#B Wafer Sensor Kit for Endura
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AMAT E5500
¿ø ÀÎ : Wafer Slippage ¹× Popping¿¡ ÀÇÇÑ Ch.B³»¿¡¼ÀÇ Waf.... |
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : ION GAUGE CONNECTOR
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AMAT
¿ø ÀÎ : ±âÁ¸ Connector ºÒ·® ±¹»êÈ
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : AC POWER CONNECTOR ASS'Y
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AMAT C5200
¿ø ÀÎ : ±âÁ¸ CONNECTOR ºÒ·® ±¹»êÈ
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : AC POWER CT SENSOR
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AMAT
¿ø ÀÎ : PART ±¹»êÈ
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Á¦Ç°¸ðµ¨ : AC FILTER ASS'Y
PART NO:
Àû¿ëÀåºñ : AME PRODUCER
¿ø ÀÎ : ±âÁ¸ Board ÀÇ Connector ºÒ·® ±¹»êÈ
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